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作为集成电路的第一代互连线材料铝,为什么会出现铝的电迁移效应?

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因为电迁移通常是指在电场的作用下导电离子运动造成元件或电路失效的现象。分别为发生在相邻导体表面的如常见的银离子迁移和发生在金属导体内部的金属化电子迁移。

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